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| Resolución a alto vacío | 3.0 nm |
| Resolución a bajo vacío | 5.0 nm |
| Imagen | Imagen de electrones secundarios, de electrones
retrodispersos con un detector de electrones secundarios. Imagen de electrones retrodispersos con un detector de los mismos dando imagen compuesta topográfica y sombras |
| Magnificación | x18 a 300,000 (en 136 escalones) |
| Voltaje de aceleración | 0.3 a 30 Kv (55 escalones) |
| Presión de vacío | 1 a 270 Pa (modo bajo vacío) |
| Tamaño del espécimen | 203,3 mm (8 pulgadas) de diámetro |
| Plataforma del espécimen | Gran tamaño, goniómetro eucéntrico: X= 125 mm, Y= 100 mm, Z= 5 a 48 mm, T= -10 a 90º, R = 360º |
| Plataforma de control | Cinco ejes de control computarizado |
| Inclinación de la columna | Automática para cada aceleración de voltaje |
| Monitor de observación | 17 pulgadas (SVGA) |
| Imagen memorizada | 1,280 x 960 pixeles. 2,560 x 1,920 pixeles (opcional) |
| Red | Conectable a Windows 95 |
| Sistema de operación | Mouse. Keyboard opcional |
| Procesamiento de imágenes | Promedios, histogramas, aumentos de código multiniveles, zoom digital. |